堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱
堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
堅膜烘箱，氮氣堅膜烤箱技術性能：
溫度范圍：RT～250℃；
均勻度：±2%℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
潔凈度：Class100;
計時范圍：99H99M；
氣體氛圍：N2；
內部尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×550
600×700×800（可定制）
電源：380v , 50Hz
網板：2-4只（高度可調節)
可擴展功能：
雙腔體或多腔體
智能聯網功能，MES等工業自動化軟件
掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取
自動門控，上位機程控，機械手搬運產品
堅膜烘箱也可用于半導體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
