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              PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱 工業烘箱

              PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱 工業烘箱

              簡要描述:

              PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺CPI固化,LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝

              PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱

              PI固化爐用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI固化,晶圓干燥烘烤等工藝,主要用于集成電路、化合物半導體、MEMS微機電、TFT/LCD等半導體相關行業。


              通用性,全自動運行真空固化,2寸-12寸/碎片兼容。

              保證性強,可達5PPM氧氣下實現真空固化。

              時效性,多功能冷卻方式,縮短了工藝時間,降低成本,提高生產能力。

              能耗低,真空狀態固化,節約了80%N?量。

              無污染,腔體內部所有材料均為316L醫用級不銹鋼,無任何顆粒產生。


              PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱

              溫度:MAX400度

              真空度:低于100Pa

              操作:彩色人機界面,一鍵運行

              冷卻方式:水冷卻+風冷

              氣路:1路N2

              程序模式:程序運行10個,每個程序可設置25步

              隔熱材料:陶瓷纖維

              工作腔:1/2/4/8可選

              PI亞胺化厭氧爐工藝要求(參考):

              1. 在低氧狀態下使用

              2. 真空加熱,升溫至1xx℃

              3. 再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;

              4. 繼續升溫至x00℃,視涂層厚度不同加熱10-x0min

              5. 保溫 約60min;

              6. 降溫至100℃以下




              無氧烘箱(BCB固化爐),真空無氧烘箱(PI固化爐),無塵烘箱,HMDS烘箱,硅烷蒸鍍機,無塵無氧烘箱,氮氣烘箱,鼓風真空烘箱,高精度熱板,超低溫試驗箱,快溫變試驗箱,恒溫恒濕試驗箱,高低溫沖擊試驗箱等設備,以及非標定制。---上海雋思儀器專業生產/服務


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              上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱 工業烘箱等,歡迎來電咨詢PI亞胺化厭氧爐,PI真空厭氧烤箱 工業烘箱詳細資料等信息
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